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    綜合型分析探針臺

    產品簡介:可用于12英寸以內樣品測試。

    • 更新時間:2019-07-14
    • 瀏覽次數:1177

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    詳細介紹

    綜合型分析探針臺
    型號 SH-6 SH-8 SH-12
    外形 820mm長*720mm寬*890mm高 960mm長*850mm寬*900mm高 1300mm長*920mm寬*920mm高
    重量 170公斤 約230公斤 約300公斤
    電力需求 220VC,50~60Hz
    樣品臺 尺寸 6英寸,可360度旋轉 8英寸,可360度旋轉 12英寸,可360度旋轉
    行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
    移動精度 1um
    樣品固定方式 真空吸附
    背電極測試功能 有,樣品臺電學獨立懸空
    針座平臺 規格 U型平臺,多可放置6個針座 U型平臺,多可放置10個針座 U型平臺,多可放置12個針座
    行程&調節方式 平臺可以快速升降,行程 6mm,并帶自動鎖定功能;可以上下微調,行程25mm,升降精度1um
    光學特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
    顯微鏡移動精度 1um
    切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30度    
    放大倍數 20~4000X
    鏡頭規格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
    CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
    點針規格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
    機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
    漏電精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱時)
    接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
    應用方向 晶圓測試,光電器件測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試,高壓/大電流測試等
    可選附件 卡盤快速拉出裝置 加熱臺 光強/波長測試選件
    顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) 高低溫樣品臺 射頻測試附件
    顯微鏡氣動升降裝置 屏蔽箱 有源探頭
    激光微加工 轉接頭 低電流/電容測試
    探針卡夾具 防震臺 兼容積分球測試選件
    顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 光纖夾具耦合測試選件
    液晶熱點偵測套裝 同軸叁軸卡盤 封裝器件夾具
    高壓/大電流測試套裝 樣品臺快速升降,微調升降裝置選件 PCB/封裝夾具測試選件
    帶真空底座的活動Chuck 樣品臺旋轉微調選件 特殊定制
     
    特點
    穩定的結構 同軸絲杠傳動結構,線性移動
    針座平臺可快速升降和微調,適合針卡測試 大手柄驅動,操作舒適,無回程差設計
    兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 芯片內部線路/電極/PAD測試
    高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
    可用于12英寸以內樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試

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