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    晶圓測試探針臺

    產品簡介:可用于12英寸以內樣品測試。

    • 更新時間:2019-07-14
    • 瀏覽次數:1922

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    詳細介紹

    晶圓測試探針臺
    型號 SE-4 SE-6 SE-8 SE-12
    外形 580mm長*
    620mm寬*
    730mm高
    640mm長*
    700mm寬*
    730mm高
    660mm長*
    660mm寬*
    700mm高
    1030mm長
    *820mm寬*
    730mm高
    重量 約70KG 約80KG 約85KG 約180KG
    電力需求 220VC,50~60Hz
    樣品臺 尺寸 4英寸,可360度旋轉 6英寸,可360度旋轉 8英寸,可360度旋轉 12英寸,可360度旋轉
    X-Y行程 4英寸*4英寸 6英寸*6英寸 8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
    Z軸行程 6mm(快速切換)/6mm(微調)
    移動精度 10um/1um
    樣品固定方式 真空吸附
    背電極測試功能 有,樣品臺電學獨立懸空
    針座平臺 U型平臺,多可放置6個針座 U型平臺,多可放置8個針座 U型平臺,多可放置10個針座 U型平臺,多可放置12個針座
    光學特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
    顯微鏡移動精度 1um
    切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30度   
    放大倍數 16~100X/20~4000X
    鏡頭規格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
    CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
    點針規格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
    機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
    漏電精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱時)
    接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
    應用方向 芯片及LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。
    可選附件  顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) 高低溫樣品臺 光強/波長測試選件
    顯微鏡氣動升降裝置 屏蔽箱 射頻測試附件
    激光微加工 轉接頭 有源探頭
    探針卡夾具 防震臺 低電流/電容測試
    顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 兼容積分球測試選件
    液晶漏電分析套裝 同軸叁軸卡盤 光纖夾具耦合測試選件
    高壓/大電流測試套件 樣品臺快速升降,微調升降裝置選件 PCB/封裝夾具測試選件
    加熱臺 樣品臺旋轉微調選件 特殊定制
    特點 1.顯微鏡龍門柱式設計,可使顯微鏡在平面內移動。
    2.顯微鏡可傾仰或氣動升降,便于更換物鏡。
    3.可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用。
    4.同軸驅動卡盤,移動精度高。
     
    特點
    緊湊的結構 同軸絲杠傳動結構,線性移動
    實惠的價格 無回程差設計
    兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 1微米以上電極/PAD測試
    高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
    可用于12英寸以內樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試

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