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    面板TEG prober

    產品簡介:0.1um精度的直線電機平臺,全自動測試,超高的測試精度。

    • 更新時間:2019-07-14
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    詳細介紹

    面板TEG Prober
    型號 TEG prober-G6 TEG prober-G8.5
    外形 2850mm(寬)x2500mm(長)x2500 mm(高)  4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高)
    重量 約9700KG 約14200KG
    電力需求          380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
    可測試液晶屏尺寸 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
    平臺功能 Gantry結構  龍門式,可以選擇雙龍門
    X-Y-Z軸運動行程 1850*1500 *58mm(X-Y-Z)  2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
    X-Y運動速度 0~600mm/s可調 探針規格 針卡 兩套,可同時測試兩個patten
    X-Y精度(小移動量) 0.1um Pitch范圍:定制 
    X-Y重復定位精度 ±1um 探針材質:鎢or鈹銅等
    X-Y 軸驅動 直線電機+光柵尺 工作模式:可以單獨測試,或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調。
    Z 運動速度 0~10mm/s可調
    Z精度 0.25um 探針和TEG對位方式 坐標定位
    Z重復定位精度 ±1um 測試過程中的二次視覺檢測
    Z軸驅動 伺服電機+光柵尺 探針和TEG的接觸方式 自動接觸
    Z軸保護 電機自鎖+機械限位保護 探針自動保護功能:edge sensor 和機械限位,可以根據panel厚度設定限位高度,點針的OD值可設。
    樣品臺平整度 ±50um平整度 
    樣品臺涂層 防靜電涂層
    樣品臺高低溫  Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)
    光學特性 光路系統倍率:  5X ,10X ,20X,50X  Objects  探針軸旋轉行程 ±90°
    放大倍率范圍50X~ 500X  探針旋轉精度 0.01°
    聚焦 自動聚焦 旋轉重復定位精度 0.03°
    CCD 200/500萬像素工業相機 探針清潔 自動清針
    光源 面背光、點背光、上光源 清潔后自動測針
    光源亮度獨立可調,面背光可選擇分區控制 探針臺漏電精度(安裝針卡的情況) 100fA 以內(測試標準:給針卡任意針腳加壓—5V~+5V,在不吹N2的情況下,空載測試漏電流<100fA)吹氮氣N2輔助干燥(Recipe 可以設置是否開啟N2且N2測試報告體現開N2與不開N2區別)
    激光特性(選件) 激光系統 激光切割系統(2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
    0-100%
    激光波長 1064nm,532nm,355nm
    光斑尺度 1.0um @100X  object 測試能力 測試系統 兩套
    2.0um @50X  object 半導體參數測試系統:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元+高精度矩陣開關等
    工作模式 One Shot/Burst/Continue
    形狀 可調節的矩形 TFT測試項目 Ion
    控制 工作模式 自動測試,CIM通訊,實現數據的自動導入和輸出 Ioff
    Vth
    上下片 機械手或者流水線 Mobility
    CIM系統 Swing
    減震 被動式減震系統,能夠確保點針測試的穩定性 Resistance測試項目 Rs
    工業PC 23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤2塊 Rc
    (其中一塊為備份硬盤),8G內存,1G獨立顯卡 輸送電壓 ±200V
    通訊接口 RS232/485/TCP/IPGPIB等 輸送電流 ±1A
    安全 整機帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作 電流測試分辨率 1fA(無需前置放大器)
    緊急開關EMO 電壓測試分辨率 0.5uV 
    限位sensor,運動平臺和探針系統限位互鎖 CV 測試頻率范圍 1kHz~5MHz
    Interlock報警,自動關閉系統(軟件設置為可選)  接地單元電流宿能力 4.2A GNDU
    應用方向 OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學測試
     
    特點:
    業界快的測試速度 超高的測試精度
    穩定的測試結果 mult-probe card設計
    0.1um精度的直線電機平臺 自動清針,自動測針
    極小的針痕損傷 全自動測試

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